低溫真空波紋補(bǔ)償器的抽氣原理，真空波紋補(bǔ)償器是利用低溫表面冷凝和吸附氣體來獲得和保持真空的裝置。低溫真空波紋補(bǔ)償器的抽氣原理當(dāng)氣體粒子入射到溫度足夠低的低溫面上時(shí)，它們會(huì)喪失相當(dāng)多的動(dòng)能，以致在一定的條件下，通過凝聚，低溫吸附，低溫捕集或吸氣而粘附于表面，使空間的氣體分子數(shù)越來越少，實(shí)現(xiàn)了抽氣作用。

氣體主要以凝聚在低溫表面上而波紋補(bǔ)償器的波紋補(bǔ)償器稱為低溫冷凝波紋補(bǔ)償器。低溫冷凝波紋補(bǔ)償器波紋補(bǔ)償器時(shí)對(duì)氣體類型是有選擇的，不同溫度的低溫表面冷凝不同種氣體，達(dá)到不同的極限真空度.只有沸點(diǎn)高于固體表面溫度的氣體分子才能被冷凝抽除。利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣休分子發(fā)生吸附而達(dá)到抽氣作用的波紋補(bǔ)償器稱為低溫吸附波紋補(bǔ)償器。吸附劑可分金屬型和非金屬型兩類:金屬型吸附劑主要有鐵、鉭、鑰等，以蒸發(fā)或升華的形式沉積在低溫面上達(dá)到吸氣目的;非金屬型吸附劑以活性炭和分子篩為主，用低溫粘結(jié)劑粘在低溫面上，在溫度降低時(shí)大量吸附氣體。

低溫捕集或吸附是利用二氧化碳、熱汽等易冷凝的氣體，在低溫面上凝結(jié)的同時(shí)，將不易冷凝的氣體一起埋葬或吸附抽除.實(shí)際應(yīng)用的低溫波紋補(bǔ)償器常將低溫冷凝、吸附和捕集作用結(jié)合起來，對(duì)各種氣體都有抽氣作用。